�(jié)合了高靈敏度、高分辨率定量成像以及表面分析多技�(shù)�(lián)用能力的 Thermo Scientific? ESCALAB? QXi X射線光電子能譜儀 (XPS) 微探針將滿足您對(duì)提高分析性能和靈活性的需��
ESCALAB QXi XPS微探針是一種可�(kuò)展和�(yōu)化的多技�(shù)儀器,具有靈活性和可配置�。它非常靈敏,可在幾秒鐘�(nèi)�(chǎn)生高�(zhì)量的光譜。系�(tǒng)控制、數(shù)�(jù)采集、處理和�(bào)告無(wú)縫集成在�(qiáng)大的 Thermo Scientific Avantage �(shù)�(jù)系統(tǒng)�。由直觀EM軟件�(qū)�(dòng)的技�(shù)保證了結(jié)果和生產(chǎn)�。ESCALAB QXi XPS微探針具有獨(dú)特的雙檢�(cè)器系�(tǒng),還提供具有高空間分辨率的優(yōu)�(zhì) XPS 成像�
ESCALAB QXi XPS微探針的特點(diǎn)�
單色 XPS
雙晶微聚焦單色器帶有 500 mm 羅蘭圓,使用鋁陽(yáng)極(或有雙單色器選項(xiàng)的鋁銀雙陽(yáng)極),測(cè)試光斑尺寸在 200 μm � 900 μm 范圍�(nèi)可選�
電子�
與分析儀輸入透鏡同軸的電子槍用于在使用單� X 射線源分析非�(dǎo)電樣品時(shí)�(jìn)行電荷補(bǔ)�,而不使用磁透鏡�(shí),雙束電子槍�(chǎn)生兩種低能離�,以�(xié)助提供有效的電荷�(bǔ)償和低能電子�
透鏡和分析儀
ESCALAB QXi XPS微探針上的透鏡和分析儀系統(tǒng)針對(duì)光譜�(xué)和平行成像�(jìn)行了�(yōu)�;單一分析儀路徑意味著相同的儀器參�(shù)(例�,通過(guò)能)可用于譜圖和成像�
檢測(cè)�
ESCALAB QXi XPS微探針配備了兩�(gè)檢測(cè)器系�(tǒng):一�(gè)針對(duì)光譜�(jìn)行了�(yōu)�,由一組六通道電子倍增器組�,另一�(gè)用于平行成像,由一�(duì)通道板和一�(gè)連續(xù)位置敏感探測(cè)器組��
離子�
ESCALAB QXi XPS微探針有兩�(gè)選項(xiàng)用于快速、高分辨率的深度剖析:標(biāo)�(zhǔn) EX06 離子�,針�(duì)單粒子模式離子濺射和離子散射光譜�(jìn)行了�(yōu)�;以及可選的單粒子和�(tuán)簇離子源 MAGCIS,它能夠�(yīng)用于單粒子離子剖�、離子簇剖析和離子散射光譜分析�
�(shù)碼控�
ESCALAB QXi的所有分析功能均由基� Windows 軟件� Avantage �(shù)�(jù)系統(tǒng)控制,這意味著可以根據(jù)需要遠(yuǎn)程執(zhí)行整�(gè)分析�(guò)��
�(duì)�(zhǔn)和校�(zhǔn)
包含�、銀和金樣品的標(biāo)�(zhǔn)塊可用于�(píng)估靈敏度、設(shè)置分析儀能量�(biāo)度的線性度、校�(zhǔn)離子�、校�(zhǔn) X 射線單色器以及確定分析儀的轉(zhuǎn)換功��
樣品�(duì)�
ESCALAB QXi的樣品臺(tái)上的所有運(yùn)�(dòng)軸均� Avantage �(shù)�(jù)系統(tǒng)控制,儀器上安裝了高分辨率數(shù)碼攝像機(jī),并與分析位置準(zhǔn)確對(duì)��
樣品�(jī)械手
�(jì)算機(jī)控制� 5 軸高精度�(zhuǎn)換器 (HPT) 可實(shí)�(xiàn)�(zhǔn)確的樣品�(duì)齊以�(jìn)行分析。當(dāng)與新的自�(dòng)樣品裝載系統(tǒng)�(jié)合使用時(shí),它可用于自�(dòng)更換樣品架和�(yùn)行預(yù)�(shè)�(shí)�(yàn)樹�
真空系統(tǒng)
ESCALAB QXi的分析室� 5 mm 厚的高導(dǎo)磁合金構(gòu)�,以最大限度地提高磁屏蔽效�,并使用渦輪分子泵和鈦升華泵�(duì)分析室�(jìn)行抽氣,使分析室的真空度�(yōu)� 5 x 10-10毫巴�
制備�
ESCALAB QXi的標(biāo)�(zhǔn)前處理室是一�(gè)組合式的樣品入口鎖和制備�,具有可容納各種樣品制備�(shè)備的端口,例如加�/冷卻探針、離子槍、高壓氣�、樣品停放裝置和氣體入口�
連接�
�(cè)量坐�(biāo)可以通過(guò)Thermo Scientifc Maps軟件從專用顯微鏡系統(tǒng)�(dǎo)入Avantage�(shù)�(jù)系統(tǒng),從而更快地�(shí)別測(cè)量區(qū)�??梢�?nbsp;XPS 光譜和成像數(shù)�(jù)添加� Maps 軟件�,以便直接比較表面化�(xué)和結(jié)�(gòu)信息�
ESCALAB QXi XPS微探針的性能�(shù)�(jù)�
單色 X 射線� | 微聚� Al K-Alpha 源或可選的微聚焦雙陽(yáng)� Al K-Alpha � Ag L-Alpha � |
分析 | 180°、雙聚焦、雙極半球形分析儀,配備用于光譜和成像的雙檢測(cè)器系�(tǒng) |
離子� | Monatomic EX06 離子源作為標(biāo)�(zhǔn)配置提供� MAGCIS 雙模離子源可� |
真空系統(tǒng) | 兩�(gè)用于入口和分析室的渦輪分子泵,配備旋�(zhuǎn)泵或�(wú)油前�(jí)�;用于分析室的自啟動(dòng)�3 絲鈦升華� |
樣品�(tái) | 具有樣品加熱和冷卻功能的 5 軸樣品臺(tái) 從樣品室到分析室的可選全自動(dòng)樣品傳� |
包括�(biāo)�(zhǔn)分析技�(shù) | X 射線光電子能� (XPS) 反射電子能量損失� (REELS) 離子散射� (ISS) |
可選的分析技�(shù) | 用于紫外光電子能� (UPS) 的紫外燈 用于 HAXPES 的非單色 X 射線� 用于俄歇電子能譜 (AES) � SEM 的場(chǎng)�(fā)射電子源 逆光電子能譜 (IPES) EDS 檢測(cè)� |
可選配件 | 手套�、真空轉(zhuǎn)移容器�EX03 寬束離子�、盤片相�(jī) |
樣品制備選項(xiàng) | 加熱/冷卻樣品�、附加制備室、可烘烤� 3 路�(jìn)氣管、斷裂臺(tái)、樣品停放裝� |